空気中の粉塵粒子、ガスの有害性、汚染物質の排出などの有害な細菌、および室内の温度、清浄度、窒息内の圧力、サイクロンの速度、サイクロンの飛散、騒音、振動、および照明装置、特定の仕様領域での静電気制御、および空間によって特別に調合されます。 つまり、外部の空気環境がどのように変化しても、空気は元の設定基準の清浄度、温度と湿度、圧力、およびその他の性能特性を維持できます。
クリーン ルームの主な機能は、エンタープライズ製品 (シリコン チップなど) がさらされる空気の清浄度日と温度と湿度を制御することです。クリーンルームと呼ばれる環境空間。 慣例によると、クリーン浄化グレードは、主に、1立方メートルあたりの空気の直径が分割仕様を超える粒子の数に応じて定義されます。 つまり、清潔とは、わずかなほこりがないことではなく、非常に少量の単位にあります。 もちろん定番
ほこりの標準粒子によると、乾燥したほこりと比較して、現在は小さなマイクロフラットであり、そのマイクロですが、電子光学構造の場合、わずかなほこりでも非常に大きな悪影響であるため、電子光学構造のエンタープライズ製品では
昔は、清潔が必要な基準でした。
粒子サイズ 0.3 ミクロンの小さな乾燥ダストの量は、国際クリーン コードのグレード A に達する 1 立方メートルあたり 3500 未満に制御されます。 チップ レベルの製造および粉塵の処理に使用される現在のクリーン仕様は、高いドライ グレード A であり、そのような高い基準が主に使用されます。
- よりグレードの高いチップが製造されています。 0.5um以下の微細粉塵量は、業界で通称千級と呼ばれる1立方メートルあたり1000個以内に厳密に管理されています。
クリーンルームの状態は次の3種類に分類されます
エアコン：施工済みですぐに使えるクリーンレート（設備）。 清浄度に関するすべての保証と機能を備えています。 ただし、クリーンレート内にはオペレーターも生産設備もありません。
静的：すべての種類のクリーンルームが完全に機能し、機器が適切に設置され、クリーンルーム（機器）が設定に従って使用または使用されているが、クリーンルームで操作が行われていない.
動的：通常の使用でクリーンルーム、クリーンルーム機能が完了し、必要に応じて機器と人員が正常に作業できます。